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溅射镀膜工艺-非正常辉光放电区
作者： 发布时间：2023-08-10 10:58:25点击：330
非正常辉光放电区: 在轰击覆盖住整个阴极表面之后，进一步增加功率放电的电压和电流密度将同时增大，进入非正常辉光放电状态。其特点是:电流增大时，两放电极板间电压升高，且阴极电压降的大小与电流密度和气体压强有关。因为此时辉光已布满整个阴极，再增加电流时，离子层已无法向四周扩散这样，正离子层便向阴极靠拢，使正离子层与阴极间距离缩短，此时若要想提高电流密度，则必须增大阴极压降，使正离子有更大的能量去轰击阴极，使阴极产生更多的二次电子才行。
在气体成分和电极材料一定条件下，由巴邢定律可知，启辉电压 V 只与气体压强p和电极距离d的乘积有关 (见图2-40所示)。从图可以看出，电压有一个最小值若气体压强太低或极间距离太小，二次电子在到达阳极前不能使足够的气体分子被碰撞电离，形成一定数量的离子和二次电子，会使辉光放电熄灭。气压太高或极间距离太大，二次电子因多次碰撞而得不到加速，也不能产生辉光。
在大多数辉光放电溅射过程中要求气体压强低，压强与间距乘积一般都在最小值的右边，故需要相当高的启辉电压。在极间距小的电极结构中，经常需要瞬时地增加气体压强，已启动放电。
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