面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量，所以也被称为反射波面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ]。λ是干涉仪所使用的氦氖激光器的波长632.8nm。

另外，表征面型精度有两个参数：PV和RMS值。

PV值是Peak to Valley（峰值与谷值的差值），RMS值是Root Mean Square（均方根值），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为象平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示，所以本产品目录中的面型精度使用PV值表示。例如，面型精度的PV值是1/2λ时，表示与理想平面的偏差值是316.4nm。

精密抛光或镀膜后的表面缺陷标准。划痕为线状缺陷，麻点为点状缺陷。

划痕－麻点为20－10时，表示没有宽度大于20µm的划痕，没有宽度大于100µm的麻点。

西格玛光机采用MIL-PRF-13830B标准，通过目测方式并且与标本比较来进行检查。

当高功率的脉冲激光照射到光学元件时，可能会造成光学元件的镀膜或玻璃材料的损伤。当光学元件开始遭到损伤时的激光能量密度（J/cm2）被称为激光损伤阈值。

西格玛光机的激光损伤阈值采用ISO21254国际标准进行S-on-1测试。通过比较光学元件的激光损伤阈值与所使用的激光能量密度※4，选择高激光损伤阈值的光学元件。但是，100mJ/cm2以下的脉冲激光（脉冲时间10ns）或0.5W以下的连续激光几乎不存在激光损伤阈值问题。

*4 能量密度 [J/cm2] = 激光能量 [J] / (π × 光束半径 [cm]2)

当光线斜入射到玻璃表面时，其反射率会随入射光线的偏光方向而发生变化。在玻璃表面的法线和入射光束所构成的平面内振动的光波被称为P偏光，与P偏光正交方向振动的光波被称为S偏光。其他方向的偏振状态可以认为是不同比例的P偏光和S偏光合成的结果。

P偏光和S偏光的反射率由入射角度和玻璃的折射率所决定，因为他们遵循的法则不同，所以P偏光和S偏光的反射率也是不同的。

在激光束光路中插入光学元件时，光束方向会发生偏转，与原光束方向相比所偏转的角度称为光束偏转角。光束偏转角由光学元件的平行度和折射率决定。BK7在平行度为1分时的光束偏转角相当于0.5分。

以透镜的外径为基准，转动透镜时，如果是理想透镜，转动透镜时，透过光束或者聚光光束将不会变动，如果理想透镜的光轴，和透镜外径的中心轴存在角度偏差时，透过光束将按周围轨迹运动。与转动轴相比透过光束所摆动的角度称为偏心。

产品目录发布了几乎所有光学元件的反射率，透过率随波长变化的特性曲线。这些反射率，透过率的特性曲线是使用分光光度计测量的结果。※5

产品目录中不仅发布了设计保证波长谱区的数据，也发布了更宽波长谱区的数据。保证波长谱区之外的数据，重复性较差而且互相差异也较大，信赖这些数值是危险的。

在分光镜等产品中，只发布了透过率的特性曲线，没有发布反射率的特性曲线。因为多层电解质膜是没有吸收的，将特性曲线的纵轴倒过来，就可以很容易地推测出其反射率。※6

另外，测量结果中的入射角度和偏光方向是有规定的。在反射率测量的时候，入射角度为5°或者45°，在透过率测量的时候，入射角度为0°或者45°。

反射型光学元件在45°角入射时，P偏光和S偏光的曲线都有发表。这是因为多层电解质膜的反射率特性随偏光方向变化很大。但是有时受到版面限制。

曲线中没有发布P偏光和S偏光的的结果，这时发布的结果为P偏光和S偏光的平均值。

*5 一部分光学元件使用了薄膜设计的模拟数据。

*6 因为铬膜有吸收，1 - 透过率≠反射率。