行业知识
新闻资讯
- 诚挚邀请您出席《粤港澳物理学会2025联合年会暨量子科技论坛》
- 诚挚邀请您出席《全国光学与光学工程 2025博土笔学术联赛》
- 诚挚邀请您出席《2024年广东省物理学会学术年会暨中山大学物理学科百年论坛》
- 诚挚邀请您出席《2023粤港澳大湾区智能微纳光电技术学术会议》
联系必威betway官网
联系人: 周先生
手机:
电话:
邮箱: sales01#laotangporcelain.com
地址: 广州市天河区儒林大街后园路35号E座107房
行业知识
反射式光学系统-施瓦氏希尔德(Schwarzschild)反射型显微物镜
作者: 发布时间:2022-08-10 10:01:37点击:1921
1985年开始报道了紫外光学系统设计用于EUVL。1989年由Kinoshita等人用一个倍率小于1的施瓦氏希尔德反射型物镜光学系统,以同步加速器辐射作为光源的第一个实验结果达到0.5的分辨率。该光学布置如图1所示。1990年Bjorholm等人也使用施瓦氏希尔德物镜和同步加速器辐射源给出了0.1μm分辨率,基本上达到了衍射极限性能。后来,C.W.Tichenor等人于1991年用激光等离子体光源重复了这些结果。

相关标签:
新闻资讯
-
2025-09-23 10:23:36
2维可调镜架用选购件-光路切换器︱FMB
-
2025-09-24 10:58:59
2维可调镜架用选购件-外径适配器︱MHG-MAD
-
2025-09-18 10:51:09
2维可调镜架用选购件-倾斜反射镜适配器︱MHG-KAD
-
2025-09-17 10:39:10
2维可调镜架用选购件-立柱安装板︱MHG-BPRO
-
2025-09-16 10:27:49
NOMI LOCK™2维可调镜架
-
2025-09-11 10:23:53
2维可调镜架