行业知识
新闻资讯
- 诚挚邀请您出席《2024年广东省物理学会学术年会暨中山大学物理学科百年论坛》
- 诚挚邀请您出席《2023粤港澳大湾区智能微纳光电技术学术会议》
- 诚挚邀请您出席《第三届全国光子技术论坛》
- 祝贺第二十届全国量子光学学术会议圆满结束
联系必威betway官网
联系人： 周先生
手机：
电话：
邮箱： sales01#laotangporcelain.com
地址： 广东省广州市天河区棠东官育路22号B239房
行业知识
反射式光学系统-施瓦氏希尔德（Schwarzschild）反射型显微物镜
作者： 发布时间：2022-08-10 10:01:37点击：1143
1985年开始报道了紫外光学系统设计用于EUVL。1989年由Kinoshita等人用一个倍率小于1的施瓦氏希尔德反射型物镜光学系统，以同步加速器辐射作为光源的第一个实验结果达到0.5的分辨率。该光学布置如图1所示。1990年Bjorholm等人也使用施瓦氏希尔德物镜和同步加速器辐射源给出了0.1μm分辨率，基本上达到了衍射极限性能。后来，C.W.Tichenor等人于1991年用激光等离子体光源重复了这些结果。
相关标签：
新闻资讯
-
2024-06-20 10:23:16
干涉仪-实验方法
-
2024-06-19 11:03:00
干涉仪-组装调试的要点
-
2024-06-18 10:54:10
干涉原理
-
2024-06-13 10:01:54
干涉仪的特点
-
2024-06-12 10:26:21
干涉仪指南
-
2024-04-16 10:13:18
超长工作距离变倍显微镜
