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多层增透膜

作者: 发布时间:2023-02-16 14:51:04点击:290

       双层增透膜的特性比单层膜要优越得多。但是,在许多应用例子里,即使是一个理想的双层膜,还是会形成过大的反射率或不适宜的光谱带宽度。因此,在这些例子中都要用三层或者更多层的增透膜。许多多层增透膜是由1/4波长层或半波长层构成的,可以看作是λ0/4-λ0/2W型膜和λ0/4-λ0/4V型膜的改进形式。

       λ0/4-λ0/2W型膜在低反射区的中央有一个反射率的凸峰,它相应于单层减反射膜的反射率极小值。为了降低这个反射率的凸峰,又要保持半波长层的光滑光谱特性,可以将半波长层分成折射率稍稍不同的两个1/4波长层。例如,对于下面所示的一个结构

1.0 |  1.38 | 1.90 | 1.52

λ0/4 | λ0/2 |

可以改变成

1.0 | 1.38 λ0/4 | 2.0λ0/4 | 1.90λ0/4 | 1.52

       于是在参考波长λ0处的反射率由1.26%减少至0.38%,当然,低反射区的宽度也显著地减小了。

       为了增加低反射区的宽度,可以在基地上附加一层低折射率的半波长层,也可以在双层V型膜的基础上构造多层增透膜,例如,在λ0/4-λ0/4V型膜的中间插入半波长的光滑层,可以得到典型的λ0/4-λ0/2-λ0/4三层增透膜结构。

总的来说,多层组合的各个参数对反射特性的影响可归纳为:调节间隔层的厚度,即变化 | π-θ | 曲线的位置和形状,可以使反射率极小值移到不同的波数位置上。改变第一层或第二层的厚度,可以使R1曲线相对于R2做水平移动,其结果就是改变低反射光谱的宽度以及反射率R;利用不同的折射率值n1n3,可以使R1和R2曲线做相对的垂直移动。



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