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真空的测量
作者: 发布时间:2023-06-07 11:50:52点击:509
为了判断和检定真空系统所达到的真空度,必须对真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低,要直接测量其压力是极不容易的。因此,都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量,再经变换后确定容器压强。当压强改变时,这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象,就是真空测量的基础。任何具体的物理特性,都是在某一压强范围内才最显著。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是该真空计的“量程”。
目前,还没有一种真空计能够测量从大气到10-10Pa的整个领域的真空度。真空计按照不同的原理和结构可分成许多类型。表2-5列出几种真空计的主要特性。
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