必威betway官网

欢迎访问光学平台厂家,SIGMA西格玛光机等国内外知名光电品牌代理商-广州必威betway官网电子科技有限公司!

全国咨询热线

/38880857

行业知识

APS离子源

作者: 发布时间:2023-06-29 10:22:33点击:587

       APS离子源的内部如图2-27左图所示。离子源在工作过程中,石墨加热器首先给阴极(LaB6)加热,电子会从阴极发射出来,并向阳极运动。磁场线圈通电后产生磁场。电子加速运动穿过磁场,磁场在垂直于电子运动方向上施加洛伦兹力,电子绕着磁感线螺旋向上运动,大大增加了电子与Ar原子碰撞的概率。产生带正电的Ar+和电子,形成等离子体。

图2-27 APS离子源实物图

       电子加速沿着磁感线离开阴极,因此剩下正电荷,产生偏压,这个偏压就是Ar+轰击基板的能量来源。

       一定数量的Ar+加速向阴极运动,对阴极产生溅射,从阴极溅射出来的材料会在阳极桶上沉积一层薄膜。因此,阴极要定期清洁掉这层薄膜。

       图2-27为APS离子源的实物图,其特点为离子效率比较高,高等离子体密度,离子体分布均匀。

       图2-28是带有等离子源 (Advanced Plasma Source)和电子束枪(E-beamgun)的离子辅助沉积示意图。

       离子源是由一个LaB6热阴极、柱状的阳极筒和一个磁场线圈组成,安装在真空室的底部中央位置。其结构如图2-29所示。



       其工作原理是: LaB6阴极被石墨灯丝加热器间接加热,热阴极受热后发射热电子,在阴极及阳极间加上直流电压,同时充入惰性气体,通常用氩,由于辉光放电产生等离子体,又由于阳极周围是由螺旋管线圈的磁场围绕着,等离子体就在磁场的作用下沿螺线向工件盘运动,由于等离子体的作用,反应气体、蒸发材料的分子或原子也被离化,产生了离子镀的过程。

       等离子源相对真空室是电绝缘的,由于电子迁移率高,电子首先到达基片和真空室壁,使阳极与基片和真空室壁产生一个自偏压,如图2-29 所示,基片相对于离子源为负电位,离化后的离子在电场作用下得到了加速。这样就增加了膜料粒子在基片表面沉积的迁移力,提高了膜层的密度,减小了水汽的浸入。这样一个过程与离子源之间形成一个均匀的等离子体区,由于较高的等离子区密度反应气体 (氧气)通过等离子源上方的环形喷头充入,被激活和部分离化,蒸发物也部分被离化。由此,淀积物气体分子的能量被提高,分子之间的作用力又降低了对气压的要求,这些都有利于薄膜生长,提高薄膜性能。

       另外,离子源与基片间的负偏压取决于真空度、提供的放电电压、磁场的强度等因素,在使用中可根据工艺要求来控制离子能量。此离子源可用于蒸镀氧化物、低价氧化物、硫化物、氟化物、半导体以及金属材料等。除此之外,由于离子体源可作用于 1m²范围,故可满足大面积均匀薄膜的制备,并有助于提高产量。

图 2-28离子辅助沉积示意图 图 2-29离子源结构图



相关标签:

新闻资讯

相关产品

Copyright © 2012-2023 版权所有:广州必威betway官网电子科技有限公司【西格玛光机一级代理商|光学平台厂家】 laotangporcelain.com Powered By Oulucn.com

在线客服
联系方式

热线电话

上班时间

周一到周五

公司电话

二维码
线
必威betway官网 必威betway官网 必威betway官网 必威betway官网入口 必威betway官网入口 betway[必威]官网入口 betway必威 betway必威