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射频离子源
作者: 发布时间:2023-06-28 11:09:41点击:276
射频离子源的工作原理图如图2-25所示。工作气体通过一个专门设计的气体绝缘器进人石英放电室,以1356MHz的射频功率通过电感合进入放电室离化工作气体,形成等离子体。等离子体中的正离子,在通过三层栅网时,先后经历加速和减速两个过程,被成功聚焦加速,形成正离子束。
中和器提供电子,和正离子束一起,再次形成中性的等离子体。中和器的工作气体为气,也是由13.56MHz的射频激励气体形成等离子体,经过电场加速拉出电子。
图 2-26 为射频离子源的本体和中和器的实物图,其特点为无极放电,可以保持长时间稳定工作,均匀性区域宽,这对于制备比较厚的高性能薄膜非常有优势,另外,射频离子源的离子能量可以精准控制,离子能量可变范围大,可以产生零漂移薄膜。
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