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膜厚的分类
所谓薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的 1~10的原子层或分子层。在此方向上,薄膜具有微观结构。
厚度是指两个完全平整的平行平面之间的距离,是一个可观测到实体的尺寸。因此,这个概念是一个几何概念。理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的,其他的两维方向具有宏观大小所以,表示薄膜的形状,一定要用宏观方法,即采用长、宽、厚的方法。从这个意义上讲,膜厚既是一个宏观概念,又是微观上的实体线度。由于实际上存在的表面是不平整和不连续的,而且薄膜内部还可能存在着针孔、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。所以要严格地定义和精确测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。因此,同一薄膜,使用不同的测量方法将得到不同的结果,即不同的厚度。
经典模型认为,物质的表面并不是一个抽象的几何概念,而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成,是实际存在的一个物理概念。
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