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光学方法-光吸收法

作者: 发布时间:2023-07-20 10:18:12点击:170

光吸收法 

       如果强度为I0的光照射具有光吸收性的薄膜,则透过薄膜的光强度可由下式表示

I=I0(I - R)² exp(αt)

式中,t为膜厚;α为吸收系数;R为薄膜与空气界面上的反射率。

       显然,通过测量光强度的变化,利用上式可以确定吸收薄膜的厚度。这种方法非常简单,常用于金属蒸发膜厚度测定,且适用于淀积过程的控制。淀积速率一定时,在半对数坐标图上,透射光强与时间的关系是线性的。这种方法也适用于在一定面积上薄膜厚度均匀性的检测。但必须指出,此方法只适用于能形成连续的、薄的微晶的薄膜材料(如 Ni-Fe 合金等),其他物质(如Ag)在小的厚度时 (约30nm),透射光强随厚度呈线性衰减。因此,只有能满足式(I=I0(I - R)² exp(αt)的蒸发材料才适用。


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