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溅射镀膜工艺-无光放电
作者： 发布时间：2023-08-03 10:39:00点击：295
无光放电: 由于在放电容器中充有少量气体，因而始终有一部分气体分子以游离状态存在着。当两电极上加直流电压时，这些少量的正离子和电子将在电场下运动，形成电流。由于气体分子在这种情况下的自然游离数是恒定的，所以，当正离子和电子一但产生，便被电极拉过去。即使再升高电压，到达电极的电子与离子数目不变。所以此时的电流密度很小，一般情况下仅有 10-16~ 10-14 A ，由于此区是导电而不发光，所以称为无光放电区。
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