行业知识
新闻资讯
- 诚挚邀请您出席《粤港澳物理学会2025联合年会暨量子科技论坛》
- 诚挚邀请您出席《全国光学与光学工程 2025博土笔学术联赛》
- 诚挚邀请您出席《2024年广东省物理学会学术年会暨中山大学物理学科百年论坛》
- 诚挚邀请您出席《2023粤港澳大湾区智能微纳光电技术学术会议》
联系必威betway官网
联系人： 周先生
手机：
电话：
邮箱： sales01#laotangporcelain.com
地址： 广州市天河区儒林大街后园路35号E座107房
行业知识
溅射过程-沉积薄膜的纯度
作者： 发布时间：2023-08-30 10:01:35点击：441
沉积薄膜的纯度: 为了提高淀积薄膜的纯度，必须尽量减少淀积到基片上杂质的量。这里所说的杂质主要指真空室的残余气体。因为，通常有约百分之几的溅射气体分子注人淀积薄膜中，特别在基片加偏压时。若真空室容积为 V.残余气体分压为 P。，氲气分压为 PAr，送人真空室的残余气体量为 Q。，气量为Qa，则有
Qc=PcV QAr=PArV
即
Pc = PArQc/ QAr
由此可见，欲降低残余气体压力 Pc，提高薄膜的纯度，可采取提高本底真空度和增加送鼠量这两项有效措施。本底真空度应为10-3~10-4Pa较合适。
相关标签：
- 上一个：溅射过程-靶材的溅射过程
- 下一个：溅射过程-淀积过程中的污染
新闻资讯
-
2025-09-16 10:27:49
NOMI LOCK™2维可调镜架
-
2025-09-11 10:23:53
2维可调镜架
-
2025-09-10 10:13:12
同轴2维可调镜架
-
2025-09-09 10:27:44
反射镜镜架的选择指南-立柱型和无立柱型
-
2025-09-04 10:24:37
反射镜镜架的选择指南-镜架类型概论分光镜用镜架
-
2025-09-03 10:13:31
反射镜镜架的选择指南-小型化
