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光学薄膜检测技术-阈值测试过程
光学薄膜检测技术-阈值测试过程
在测试之初,首先要粗测出损伤阙值的大概范围,这时每次辐照的激光能量由大到小分成若干台阶,直到阈值附近(即不出现损伤为止),每个台阶能量密度降低2~5J/cm²。
在确定阈值的大概范围后,就要较为精细地测出阈值的确切值。此时在粗测阈值的附近更细地分出4~5个台阶(在必威betway官网的实际测试中,为了增大数据的可信度必威betway官网常常取 10个台阶),每个台阶辐照5~10个点,各台阶的能量密度增幅为0.25J/cm²,重复测试直到测试数据中包含:连续两个台阶能量密度辐照不引起样品损伤 (即零破坏概率),以及至少一个能量密度台阶上损伤概率在 60%以上。测试时每个辐照点之间的间隔至少是3 倍于激光的光束直径,以保证任何辐照点的损伤状况不受相邻辐照点影响,辐照各点的阵列排列以及能量密度分级排列如图3-9所示。
光学薄膜的损伤的判别应通过具有 Nomarski干涉偏光效果的显微镜观察,并且放大倍数至少达到 100 倍以上。在上述条件下观察到的样品表面发生的永久性变化均界定为损伤,一般以层裂、熔融、形变和色斑等形式表现。
- 上一个:光学薄膜检测技术-测试前的准备工作
- 下一个:光学薄膜检测技术-阈值的确定
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