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低膨胀玻璃材料
在温度剧烈变化的环境下使用面型精度较高的反射镜时,反射镜的面型精度有时会产生变化。
这是由于反射镜的玻璃基板上产生温度分布,温度高的部分和低的部分膨胀的数量不同。因此,需要高精度反射镜时,基板需要使用
低膨胀材料。
一般经常使用石英玻璃(热膨胀系数5.5×10-7/℃),但是要求更高精度时,使用低膨胀玻璃或被称为零膨胀玻璃的材料。
微晶玻璃®
是在低膨胀玻璃中混有膨胀系数为负的晶体的晶体化玻璃,在0℃〜50℃的温度范围内膨胀系数可以降
低到±1×10-7/℃。
由于晶体的散射导致玻璃变得模糊不清,玻璃中的光线将会被衰减。
由于比较容易加工,容易抛光,常被用于大型的反射镜中。
微晶玻璃®是SCHOTT AG的注册商标。
CLEARCERAM®-Z
玻璃中析出负膨胀系数微小晶体的零膨胀的晶体化玻璃。
在0℃〜50℃的温度范围内膨胀系数可以降低到±1×10-7/℃。
由于玻璃内部是透明的,可以通过光线。具有良好的导热性质,机械性质,化学性质,可用于激光反射镜或样板块规。
CLEARCERAM®是株式会社小原的注册商标。
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