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镀膜 S-on-1
作者： 发布时间：2025-06-05 10:21:58点击：74
镀膜 S-on-1
使用可以调节能量的脉冲激光，和能够以适当的能量密度照射检测对象的装置。
为了可以改变照射位置将检测对象装载在XY轴位移台上，每次照射结束后改变位置。
重复发射脉冲激光，在同一部位照射S次激光脉冲。
接着改变位置再次以相同能量照射S次。
如此重复地使用相同能量照射检测对象的10个位置。
然后改变激光能量，同样地在10处进行照射S次。
在激光能量可以调节的范围内重复这个操作。
使用150倍的显微镜观察检测对象的薄膜有无损伤。
相对能量密度，在图表中表示损伤的出现率，从出现率曲线求出临界(出现率为0%和0%以上的分界线)的能量密度。
将这个数值定为激光损伤阈值。
※西格玛光机将1回的照射脉冲数量S定为200次，作为200 on 1测试评价。
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