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光学平台-不锈钢平台在真空环境中的使用说明

作者: 发布时间:2020-04-15 18:44:56点击:430

光学平台-不锈钢平台在真空环境中的使用说明

实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。
实测结果表明,挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。必威betway官网推测,这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。

放出气体量

型号

放出气体量Q(排气40分钟后)

(Torr·ℓ/s/unit)

(Pa·ℓ/s/unit)

TSDS-602S

3.57×10-5

4.76×10-3

TSDS-603

1.65×10-5

2.20×10-3

12.jpg 

评价装置的技术指标

排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec

质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu

真空腔内的真空度

13.jpg 

质量成分比例

14.jpg 

质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时,各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体,其主要成分的一览表及其解释如下。

残留气体谱线一览表

15.gif 

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