光学平台-不锈钢平台在真空环境中的使用说明

作者：发布时间：2020-04-15 18:44:56点击：518

光学平台-不锈钢平台在真空环境中的使用说明

实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。
实测结果表明，挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。必威betway官网推测，这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。

放出气体量

评价装置的技术指标

排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec

质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu

真空腔内的真空度

质量成分比例

质谱峰的解释

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。

残留气体谱线一览表

以上资料由必威betway官网整理发布，旨在供大家学习之用，部分素材来自网上，如有侵权，请联系删除。

我公司是专业的光学平台厂家，光电实验室建设元器件和仪器供应商，主营产品有：光学平台、显微镜、光刻机、电流体喷印、空间光调制器、高光谱仪、荧光光谱仪、光谱分析仪、相机、反射镜、透镜、物镜等全系列光电产品，是世界顶级元器件厂家-日本西格玛光机的中国代理商，并提供光机件定制服务，一件就起订，欢迎联系咨询。