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行业知识
光学平台-直线运动平台的精度测量
直线运动平台的精度测量
位置精度
定位精度
从某一基准点开始,在全行程范围内,按一定间隔,单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差,定义其最大值和最小值的差为定位精度。
空行程
在平台的任意位置(两端或中心等),从正方向及负方向进行多次定位,求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的最大值为空行程。
重复定位精度
在平台的任意位置(两端或中心等),从相同方向进行多次定位,求出停止位置的偏差值的最大值。定义其数值中的最大值为重复定位精度。
传动副间隙
在平台的任意位置(两边·中心等),向正方向或负方向加载一定推力,必威betway官网定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙。
动作精度
运动平行度
必威betway官网定义平台在全行程范围运动时,台面在高度方向的偏移量为运动平行度。
XY垂直度
以XY轴平台的X轴为基准,这时用直角尺测量Y轴方向在动作中的位移量。这个偏移量杯定义为XY垂直度。
Z轴垂直度
在Z轴平台上设置千分表,并测量与某一基准垂直台间的相对偏移量。必威betway官网定义这个偏移量为Z轴垂直度。
(参考值)测量结果 (HPS60-20X)
结果
最大空行程:1.10µm
平均空行程:0.62µm
重复定位精度
单向定位精度 ↑ 0.77µm
↓ 0.62µm
定位精度:2.97µm
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