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光学平台-摆动平台精度测量

作者: 发布时间:2020-04-20 17:47:09点击:448

摆动平台精度测量

位置精度

重复定位精度

1.jpg 

在平台的任意位置,从相同方向进行多次定位,求出停止位置的偏差值的最大值。
定义其数值中的最大值为重复定位精度。

摆动中心高度

2.jpg 

从理想摆动中心到上台面的距离。

摆动中心位置精度

3.jpg 

摆动平台在全行程动作过程中,实际摆动中心位置与理想中心位置的最大偏差范围。

空行程

4.jpg 

在平台的任意位置(两端或中心等),从正方向及负方向进行多次定位,求出各点停止位置的偏差值的平均值。
定义其中的最大值为空行程。

姿态精度

扭矩刚度

5.jpg 

必威betway官网定义在单位扭矩负载下的平台的角位移为其扭矩刚度。

最小位移量(MIM

6.jpg 

必威betway官网定义在平台的3个特定位置(两端和正中间)进行定位时,可实现的最小移动分辨率为最小位移量。
验证方法:分别在各个位置上,指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时,分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。

(参考数据)最小位移量(MIMOSMS-60A60

7.jpg 

 

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