光学平台-精度测定例SFS-H系列平台

作者：发布时间：2020-04-24 16:49:10点击：585

精度测定例：SFS-H系列平台

高速收敛数据

0⇔75µm 往复频率 (16Hz)
（闭环控制时，使用SFS-H60X，
载荷150g）

0⇒1µm 步进收敛数据 (15msec)
（闭环控制时，使用SFS-H60X，
载荷150g）位移量

开环控制时的移动量显示压电执行机构的磁滞曲线。

直线性

0⇔80µm 直线性误差在 0.3%以内
（闭环控制时，使用SFS-H60X，
载荷150g）

重复定位精度

0⇔80µm 重复定位误差小于 50nm
（使用SFS-H60X，载荷150g）

微小进给特性

闭环控制状态下微小进给时的特性。
没有了开环控制时的磁滞特性。

直线度

前进方向的直线度。

俯仰

相对前进方向而言的俯仰误差。

左右摆动特性

相对前进方向左右摆动角。

输入模拟信号时的响应特性例：SFS-H（平移台）*使用FINE-01γ控制时

高速收敛数据输入信号：深蓝色／位移量：淡蓝色

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