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2022-07-20 10:01:47
紫外(UV)光学系统概述
紫外光(UV)在紫外光谱、大气科学、安全、紫外成像检测技术、国防等方面有着重要的应用。特别在半导体工业中紫外光刻是一项重要的应用技术,主要应用之一是用于光刻技术中投影光学系统。即光刻投影光学系统把掩模图样的缩小像投影到涂有抗蚀剂(也称为光致抗蚀剂或光刻胶,是一种对光敏感的具...
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2022-07-21 10:30:45
紫外光学材料
紫外光学系统与红外光学系统相似,在设计中的主要问题是寻找合适的材料。目前发现只有少量的光学材料可以使用,包括熔融石英(SiO2、熔融硅),几种氟化物(氟化钡、氟化钙和氟化锂)和蓝宝石(蓝宝石,在科学上是除红色以外的各色,包括无色透明刚玉的通称,化学成分为Al2O3,因其中含...
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2022-07-26 10:06:04
紫外光学材料-水晶
水晶(Rock-crystal,矽石)属于石英“家族”中显晶质一类,化学成分为二氧化硅(SiO2),为透明的石英晶体,一般无色,透光范围为0.14~6μm,折射率为1.533~1.544。按其特征及工业用途分为压电水晶、光学水晶、熔炼水晶及工艺水晶等四种。
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2022-07-27 10:11:45
紫外光学材料-萤石
萤石(Fluorite,氟石),化学成分为氟化钙(CaF2),透光范围0.123~9μm,折射率约为1.4。萤石中含有少量的稀土族元素(钇、铈),把萤石敲碎或摩擦生热时,稀土族元素受到刺激后,产生绿蓝色系列的萤光反应,故把此种矿石以萤石来命名。
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2022-07-28 11:09:36
紫外光学材料-透紫外光学玻璃
近年来,各国先后开发了透紫外光学玻璃。国产的紫外光学玻璃有两类:一类是截止型和透射性,前者是包括紫外光、可见光及波长大于的波段均能通过。如图1所示,以ZW表示,具有紫外透射可见吸收玻璃特性,如ZWB1,ZWB2和ZWB3等。 在国外重要玻璃公司均有对应玻璃牌号,如国...
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2022-08-02 10:10:46
紫外光学材料-紫外光学石英玻璃
我国已有紫外光学石英玻璃生产,如光学石英玻璃窗口片,能耐高温和高压。以JGS标示该类玻璃,主要有以下三种:JGS1为远紫外光学石英玻璃,它是用高纯度氢氧熔化的光学石英玻璃,具有优良的透紫外性能,特别是在短波紫外区,在185cm处的透过率可达90%,是185-2500nm波段...
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2022-08-03 10:11:40
紫外光学材料-德国Shott公司的紫外玻璃
德国Shott玻璃公司开发出两种紫外玻璃LITHOSIL-Q和LITHOTEC-CAF2,分别在260nm和250~2500m均有很高的内透过率。所谓内透过率(Ti,ti),就是完全校正发射损失和任何窗口的吸收后,通过样品的辐射能与入射的辐射能的比值。“校正”表面反射损失的...
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2022-08-04 10:01:52
紫外光学材料-日本Ohara公司的i-line玻璃
日本Ohara公司开发了i-line玻璃,宣布一个UV透射型玻璃族。在紫外、可见和红外波段均可透过,而在i-line(365nm谱线)附近有很高的内透过率。