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行业知识

• 2022-08-09 11:39:49

  反射式光学系统-奥凡纳（Offner）物镜

  奥凡纳（Offner）物镜 如图1所示是一种深紫外（DUV）投影光学系统。奥凡纳物镜的设计非常精巧，它产生一个环形视场，环形视场内所有像差都被校正近于零（光学系统结构参数略）。该系统的原始专利在1973年被批准（USP3748015）,简述如下： 将凸球面反射镜和凹球面反...

• 2022-08-10 10:01:37

  反射式光学系统-施瓦氏希尔德（Schwarzschild）反射型显微物镜

  1985年开始报道了紫外光学系统设计用于EUVL。1989年由Kinoshita等人用一个倍率小于1的施瓦氏希尔德反射型物镜光学系统，以同步加速器辐射作为光源的第一个实验结果达到0.5的分辨率。该光学布置如图1所示。1990年Bjorholm等人也使用施瓦氏希尔德物镜和同步...

• 2022-08-11 10:01:57

  折射式紫外光学系统-紫外（UV）探测透镜

  紫外（UV）探测透镜 在图1中给出了一个紫外（UV）光谱范围的探测透镜的设计。其具有焦距5mm及视场10°。第一镜面到像距为6.01mm，大于镜头的焦距。畸变为0.2%。

• 2022-08-16 10:12:01

  折射式紫外光学系统-深紫外（DUV）重复步进相机投影光学系统

  深紫外（DUV）重复步进相机投影光学系统 该投影光学系统的作用是把掩模图样的缩小像传送到涂有抗蚀剂的晶片上。要求必须在视场内达到芯片设计的最小特征尺寸。在DUV物镜中有很多透镜可达到所希望的功能，如图1（a）所示是该种镜头之一。 图2为深紫外（DUV）波长区间的DUV-A...

• 2022-08-17 10:45:36

  折反射式光学系统

  图1为一个紫外（UV光谱波段）折反射式物镜，NA=0.72，倍率M=53x，以及后焦距f' =0.130mm。第一镜面的像距为1.461mm。孔径光阑位于第二反射镜上，视场被氟化钙负透镜所限。在视场中央可以得到接近衍射极限分辨。由于该系统严重偏离于对称性，故在视场边...

• 2022-08-18 10:52:59

  自适应光学系统

  自适应光学系统是以光学波前为对象的自动控制系统，利用对光学波前的实时测量-控制-校正，可使光学系统具有自动适应外界条件变化、始终保持良好工作状态的能力。其基本组成见下图1。

• 2022-08-23 10:03:11

  自适应光学系统-表面结构变化型

  表面结构变化型自适应光学系统通过改变透镜形状实现变焦，材料通常选用弹性固体或液体。改变透镜形状的两种不同方式如图1所示。假设透镜放置于水平面内，中心与x轴重合。在图1（a）中，透镜的体积不变。初始条件下，透镜的孔径（直径）是ab（虚线所示）。在变形之后，透镜的孔径变为a&#...

• 2022-08-24 10:20:51

  自适应光学系统-折射率变化型

  折射率变化型自适应光学系统通过改变透镜折射率实现变焦。图1示意了透镜孔径内的折射率变化情况。假设改变外电压可以改变材料的折射率。如图1中直线所示，初始状态下，材料的折射率分布是均匀的；如图1中曲线所示，当外在材料上施加电压后，折射率呈梯度分布。