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行业知识

• 2023-08-16 11:08:48

  溅射镀膜工艺

  正常与异常辉光放电： 两电极之间维持辉光放电时，放电电压与电流之间的函数关系如图2-39 所示。在一定的电流密度范围内 (可为 2~3 个数量级)，放电电压维持不变。如前所述，这一区域称为正常辉光区。在此区域内,阴极的有效放电面积随电流增加而增大，从而使阴极有效区内电流密度保持恒...

• 2023-08-29 10:02:03

  溅射过程-靶材的溅射过程

  靶材的溅射过程 当入射离子在与靶材的碰撞过程中，将动量传递给靶材原子，使其获得的能量超过其结合能量，才可能使靶原子发生溅射。这是靶材在溅射时主要发生的一个过程。实际上，溅射过程十分复杂，当高能入射离子轰击固体表面时，还会产生如图 2-64 所示的许多效应。例如，入射离子可能...

• 2023-08-30 10:01:35

  溅射过程-沉积薄膜的纯度

  沉积薄膜的纯度: 为了提高淀积薄膜的纯度，必须尽量减少淀积到基片上杂质的量。这里所说的杂质主要指真空室的残余气体。因为，通常有约百分之几的溅射气体分子注人淀积薄膜中，特别在基片加偏压时。若真空室容积为 V.残余气体分压为 P。，氲气分压为 PAr，送人真空室的残余气体量为 ...

• 2023-08-31 10:02:59

  溅射过程-淀积过程中的污染

  淀积过程中的污染: 众所周知，在通人溅射气体之前，把真空室内的压强降低到高真空区内 (10-4Pa)是很必要的。因此，原有工作气体的分压极低即便如此，仍可存在许多污染源: 1.真空室壁和真空室中的其他零件可能会吸附气体、水汽和二氧化碳。由于辉光中电子和离子的轰击作用，这些气体...

• 2023-08-15 11:05:56

  溅射镀膜工艺-弧光放电区

  弧光放电区: 异常辉光放电时，在某些因素影响下，常有转变为弧光放电的危险。此时，极间电压陡降，电流突然增大，相当于极间短路。且放电集中在阴极的局部地区，致使电流密度过大而将阴极烧毁。同时，骤然增大的电流有损坏电源的危险。弧光放电在气相沉积中的应用，仍在进一步研究之中。

• 2023-08-09 10:53:36

  溅射镀膜工艺-辉光放电

  辉光放电: 当放电容器两端电压进一步增加时，汤森放电的电流将随着增大。当电流增至 C点时，极板两端电压突然降低，而这时电流突然增大，并同时出现带有颜色的辉光，此过程称为气体的击穿，图中电压 VB称为击穿电压击穿后气体的发光放电称为辉光放电。这时电子和正离子是来源于电子的碰...

• 2023-08-10 10:58:25

  溅射镀膜工艺-非正常辉光放电区

  非正常辉光放电区: 在轰击覆盖住整个阴极表面之后，进一步增加功率放电的电压和电流密度将同时增大，进入非正常辉光放电状态。其特点是:电流增大时，两放电极板间电压升高，且阴极电压降的大小与电流密度和气体压强有关。因为此时辉光已布满整个阴极，再增加电流时，离子层已无法向四周扩散这...

• 2023-08-01 10:51:16

  溅射镀膜机理介绍

  所谓“溅射”是指荷能粒子轰击固体表面 (靶)，使固体原子(或分子)从表面射出的现象。射出的粒子大多呈原子状态，常称为溅射原子。用于轰击靶的荷能粒子可以是电子、离子或中性粒子，因为离子在电场下易于加速并获得所需动能，因此大多采用离子作为轰击粒子，该粒子又称入射离子。由于直接实...