光学薄膜检测技术-影响测量准确度的因素

作者：发布时间：2023-11-15 10:53:24点击：215

光学薄膜检测技术-影响测量准确度的因素

在利用分光光度计进行薄膜透过率和反射率的测量时，所需要注意的影响测量结果的主要因素有以下几点:

1)测量口径:测量中应保证光全部穿过样品，不能全部贯穿则会造成测量误差。如果在实际测量中遇到样品小于光束的情况，可以在光路中加入小孔径光阑来调节。

2) 测量样品厚度:许多分光光度计都把测试光和参考光会聚于样品室的中间。这样，当光路中插人了一块较厚的样品时，光束在接收器光敏面上的会聚状况会发生变化，引起误差，特别是基板的折射率较高或是采取倾斜入射时影响更大。克服这一误差的方法是用一块折射率和厚度与测试样品相同的空白基板作为参考样品插入参考光束，以保持两个光束的一致。对于较厚的样品，为了获得高的光谱测试准确度，最好使用带有积分球系统的光电传感单元，以克服厚样品带来的测试光斑的变化或移动。

3) 仪器光谱分辨率:分光光度计的分辨率常高于 10nm。在测定带宽小于30nm 的窄带滤光片或是截止特性很陡的截止滤光片时，必须充分考虑分辨率的影响。在这种情况下，由于测量光束包含的光谱区间不够窄，仪器所显示的数值实际上是待测元件在该段光谱区间内的平均透射率。

4) 空气中某些吸收成分影响:在近红外区域，二氧化碳的吸收带常常会干扰测试结果，其特征是光谱曲线呈显示吸收光谱所特有的尖锐的透射起伏。当测试房间通风不佳时，室内二氧化碳的浓度可以随室内人员的增多而提高，从而使该项误差增大。在紫外光区域，当波长小于200nm 时，通常要充入氮气，以减小水蒸气吸收的影响。

5) 光线偏振的影响:由于光线在分光光度计中经过了多次反射，测量光束一般都带有偏振特性。高档的分光光度计为了克服偏振效应，采用了去偏或圆偏光检测的测量光束，但一些中、低档的分光光度计测量光束往往含有部分偏振光。当测量斜入射下薄膜样品的透射率时，必须充分注意光线的偏振特性。